진공 전기 도금 기계 이온 코팅 기계의 작동 원리

진공 전기 도금 기계 이온 코팅 기계의 작동 원리

끊임없는 기술 연구 개발로 업계의 제조 공정 수준이 지속적으로 향상되었습니다. 과거의 난치병에 비해 시간이 지나면서 점차적으로 해결되었습니다. 동시에 사람들의 요구가 증가함에 따라 점점 더 많은 제품이 과학 및 기술 진보를 기반으로 개발되고 탄생합니다. 그리고 오늘 우리는 이온 코팅기에 대해 이야기 할 것입니다.

이온 코팅기의 원리는 실제로 진공 챔버에서 기체 방전 또는 증발된 재료의 부분 이온화를 사용하고 기체 이온 또는 증발된 재료 입자가 충격을 받는 동안 기판에 증발된 재료 또는 반응물을 증착하는 것입니다. 이온 도금은 글로우 방전 현상, 플라즈마 기술 및 진공 증발을 유기적으로 결합하여 막 품질을 크게 향상시킬 뿐만 아니라 박막의 적용 범위를 확장합니다. 그것의 장점은 강한 필름 접착력, 좋은 회절 및 광범위한 필름 재료입니다. DM은 처음으로 이온 도금의 원리를 제안했습니다. 작업 과정은 다음과 같습니다. 먼저 진공 챔버를 4×10(-3) Pa 이상의 진공도로 펌핑한 다음 고압 전원 공급 장치를 켜고 증발 사이에 저압 가스 방전을 설정합니다. 소스와 기판. 저온 플라즈마. 기판 전극은 5KV DC 음의 고전압에 연결되어 글로우 방전 캐소드를 형성합니다. 글로우 방전 영역에서 생성된 불활성 기체 이온은 음극의 어두운 영역으로 들어가 전계에 의해 가속되어 기판 표면에 충돌하여 세정한다. 그런 다음 코팅 공정에 들어가 코팅 재료를 기화시키기 위해 가열하고 원자가 플라즈마 영역에 들어가 불활성 가스의 이온 및 전자와 충돌하고 작은 부분이 이온화됩니다. 이온화된 이온과 가스 이온은 더 높은 에너지로 코팅 표면을 공격하여 필름 품질을 향상시킵니다.

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