진공 코팅기

진공 코팅기

주로 진공 저항 가열 증발, 전자총 가열 증발, 마그네트론 스퍼터링, MBE 분자 빔 에피택시, PLD 레이저 스퍼터링 증착, 이온 빔을 포함한 많은 유형을 포함하여 높은 진공도에서 수행해야 하는 코팅 유형을 나타냅니다. 스퍼터링 그리고 너무 많은 종류. 주요 아이디어는 증발과 스퍼터링의 두 가지 유형으로 나누는 것입니다.

공작물을 보관하는 진공 코팅기

진공 코팅기는 공작물이 회전할 수 있어야 하는 특성을 유지해야 하므로 서로 다른 진공 챔버 사이에서 공작물을 이송하는 기술은 3차원 이산 부품용 다중 챔버 연속 코팅기를 제조하는 데 있어 주요 어려움입니다. 현재 전송 메커니즘은 주로 기존의 널리 사용되는 플레이트 및 스트립 표면 코팅을 기반으로 개발된 체인 터널 전송 메커니즘이며 공작물 회전 메커니즘이 없습니다.

누수 막힘을 방지하는 진공 코터

먼저 공기 누출이 가상 누출인지 실제 누출인지 확인하십시오. 가공물 재료는 가열 후 다른 정도의 가스를 발생시키고 외부에서 유입되는 가스로 오인될 수 있기 때문입니다. 이것은 허위 유출입니다. 상황.

둘째, 진공 챔버의 기밀성을 테스트하여 기밀성이 요구 사항을 충족하는지 확인합니다.

셋째, 누수구의 크기, 형태, 위치, 공기누설속도 등을 확인하고 해결 가능한 방안을 마련하여 시행한다.

넷째, 검사기기의 최소검출 가능한 누설률과 누설감지 감도를 결정하고 공기누설상태를 최대규모로 확인하여 일부 누설을 간과하지 않도록 하여 누설검출의 정확도를 높인다.

다섯째, 누수탐지장치의 응답시간과 소거시간을 파악하여 시간을 잘 파악하여 누수탐지장치가 제자리에 있는지 확인한다.

여섯째, 누수공이 막히지 않도록 하는 것도 필요하다. 간혹 작동오류로 인해 누수탐지과정에서 먼지나 액체가 누수구를 막고 이 위치에 누수구가 없다고 생각하는데 이러한 막힘이 내부와 외부의 압력차이로 인해 커지거나 누수가 발생하면 다른 이유로 막히지 않았어도 누수는 여전히 존재합니다.

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