진공 코터 마그네트론 스퍼터링 시스템

진공 코터 마그네트론 스퍼터링 시스템

마그네트론 스퍼터링 시스템에서 100-1000 Gauss 강력한 자석이 음극 타겟 뒤에 배치되고 진공 챔버는 가스 운반체로서 011-10 Pa의 압력을 가진 불활성 가스(Ar)로 채워집니다. 해고하다. 고전압의 작용으로 Ar 원자는 Ar 플러스 이온 및 전자로 이온화됩니다. 가속하여 기판으로 날아가는 과정에서 전자는 전기장에 수직인 자기장의 영향을 받아 전자가 편향되어 대상 표면에 가까운 플라즈마 영역에서 결합됩니다. 사이클로이드 방식으로 대상 표면을 따라 진행하고 이동 중에 Ar 원자와 지속적으로 충돌하여 다수의 Ar 플러스 이온을 이온화합니다.

진공 코터의 매우 높은 경도와 내마모성

1. 표면의 코팅 재료는 경도와 내마모성이 매우 높기 때문에 코팅되지 않은 초경합금에 비해 코팅된 초경합금은 더 높은 절삭 속도를 허용하여 가공 효율을 향상시킵니다. 동일한 절삭 속도에서 공구 내구성을 크게 향상시킵니다.

2. 코팅재와 피가공재 사이의 마찰계수가 작기 때문에 코팅된 블레이드의 절삭력은 코팅되지 않은 블레이드에 비해 어느 정도 감소합니다.

3. 코팅된 칼날을 가공하면 가공면의 품질이 좋아집니다.

4. 우수한 종합 성능으로 인해 코팅 블레이드는 더 나은 다재다능함을 가지고 있습니다. 코팅 등급의 블레이드는 다양한 용도로 사용됩니다.

메인 펌프로서의 진공 코터 분자 펌프 및 크라이오 펌프

오일 프리 진공 Xiyong은 분자 펌프와 극저온 펌프를 메인 펌프로 사용하며 그 특성은 주로 많은 양의 공기를 지속적으로 펌핑할 수 있고 깨끗하고 오일이 없는 초고진공을 얻을 수 있다는 점에 집중되어 있습니다. 그리고 시스템은 빠른 시동 시간과 짧은 펌프 정지 시간을 가지고 있습니다. 그러나 무거운 가스를 펌핑하는 시스템은 가벼운 가스를 펌핑하는 것보다 빠르며 수증기 유형의 펌핑 속도는 상대적으로 느립니다. 많은 양의 가스가 펌프를 통과하면 펌핑 속도가 급격히 떨어집니다.

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