초순수 장비 세척

초순수 장비 세척

반제품, 완제품 및 집적 회로 세척의 통합 수준이 높을수록 수질 요구 사항이 높아집니다. 이것은 또한 심양 청소 초순수 장비 공정 및 심양 청소 초순수 장비의 단순성, 자동화, 생산 연속성 및 지속 가능성에 대한 더 엄격한 요구 사항을 제시합니다.

중국 전자산업부는 전자급 수질 기술을 18M Ω의 5개 산업 수준으로 나눕니다. 센티미터, 15MΩ. cm, 10M Ω. 센티미터, 2MΩ. cm 및 0.5M Ω. cm, 다른 수질을 구별하기 위해.

심양 청소 초순수 장비 공정 흐름

1. 전처리장치 → 역삼투압장치 → 중간수조 → 거친혼합상 → 미세혼합상 → 순수조 → 순수펌프 → 자외선살균기 → 혼합상 연마 → 정밀여과 → 물물체(18M Ω 이상. CM) (전통적인 프로세스)

2. 전처리 → 역삼투압 → 중간수조 → 물펌프 → EDI장치 → 정수조 → 순수펌프 → 자외선 살균기 → 혼합층 연마 → 0.2 or 0.5 μM Precision 필터 → 물 개체 (18M Ω 이상. CM) (최신 공정)

3. 전처리 → 1차 역삼투 → 도징기(PH 조절) → 중간수조 → 2차 역삼투(양전하 역삼투막) → 순수조 → 순수펌프 → EDI 장치 → 자외선 살균기 → 0. 2 또는 0.5 μM 정밀 필터 → 물 객체(17M Ω 이상. CM)(최신 공정)

4. 전처리 → 역삼투압 → 중간수조 → 수중펌프 → EDI장치 → 순수수조 → 순수펌프 → 자외선 살균기 → 0.2 or 0.5 μM 정밀여과기 → 물개체 ( 15M Ω 이상. CM) (최신공정) 5. 전처리장치 → 역삼투장치 → 중간수조 → 순수펌프 → 조혼합상 → 미세혼합상 → UV살균기 → 정밀여과기 → 물물체( 그 이상 15M Ω.CM 이상) (전통적인 프로세스)

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