진공 전기 도금 전기 가열 튜브 3 온도 증발 방법
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진공 전기 도금 전기 가열 튜브 3 온도 증발 방법
삼온법은 원칙적으로 이중증발원 증발법이다. 그러나 III족 내지 V족 화합물의 성질은 합금과는 성질이 다르며 단결정 코팅을 만드는 목적으로도 사용된다. 따라서 증발원이 2개인 증착법과는 기술적으로 다릅니다. 일반적으로 합금을 구성하는 두 금속의 증기압은 크게 다르지 않습니다. 예를 들어, 1000K에서 Co, Fe, Ni의 증기압은 약 10^-10Pa, Cr은 10^-9Pa, Pd는 10^-8Pa, Al , Be, Cu, Sn은 10^-6Pa, Ag는 10^-4Pa입니다.
반대로 III~V족 화합물에서는 V족 원소의 증기압이 III족 원소보다 훨씬 높은데 이는 III족 원소의 저온 증기압 값을 측정할 수 없기 때문이다. 따라서 고온에서의 증기압 값에서 추정됩니다.
진공전기도금 전열관 코팅장치
히터; 2-기질; 3-히터; 4-공기 도입 구멍; 5-산소 실린더; 6-조정 가능한 누출 밸브; 7-스톱 밸브; 8-SiO2; 9-NA2O
반응성 증발법에 사용되는 대부분의 진공 장비의 펌핑 시스템은 오일 확산 펌프를 사용합니다. 생성된 코팅의 구성 및 결정 구조로 인해 대기 가스의 압력, 증발원에서 분자의 증발 속도 및 기판의 온도에 따라 달라집니다. 따라서 이러한 양을 조정할 수 있도록 조치를 취해야 합니다.
진공전기도금 전열관 반응 증발법
활성 가스의 원자(분자)와 증발원에서 증발된 원자 사이의 화학 반응을 통해 활성 가스를 진공 코팅 챔버에 도입하여 복합 코팅을 생성하는 방법을 반응성 증발법이라고 합니다. 반응은 기체 공간, 기판 표면 또는 둘 다에서 발생할 수 있습니다. 그 중 반응은 주로 기판에서 이루어진다. 반응의 진행은 일반적으로 반응 가스의 분압, 증발 온도, 증발 속도 및 기질의 온도와 같은 요인과 관련되며, 얻어진 코팅은 금속 합금 또는 화합물일 수 있다. 현재, 이 방법은 절연 화합물 필름의 제조에 널리 사용되어 왔다.
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