진공 전기 도금 전기 가열 튜브 순수 금속 소재 구리

진공 전기 도금 전기 가열 튜브 순수 금속 소재 구리

구리의 융점은 1083.4도이며 100Pa 조건에서 증발 온도는 1585도입니다. 구리는 전기 전도도가 높고 납땜성이 우수하여 전도체로 많이 사용됩니다. 증발된 구리 필름의 실제 최소 필름 저항은 0.01Ω입니다. 구리는 쉽게 산화되며, 구리를 보호하기 위해 종종 더 귀한 금속이 구리에서 증발됩니다.

구리 증발의 경우 저항 가열이 권장되며 증발 소스는 텅스텐 나선형 와이어 또는 텅스텐, 탄탈 및 구리 보트입니다. 전자 빔 가열을 사용할 수 있지만 구리는 열전도율이 좋습니다. 따라서 증발온도를 일정하게 유지하기 어렵다.

구리는 세라믹이나 유리에 대한 접착력이 약하고 연속 리드는 취급 중에 구리-기판 인터페이스에서 파손될 수 있습니다. 따라서 크롬과 티타늄은 "접착제"로 사용되어야 하며 베이스 필름은 도금 전에 프라이밍되어야 합니다.

진공 전기 도금 전기 가열 튜브 크롬의 순수 금속 소재

크롬은 1890도에서 녹습니다. 그러나 10Pa의 조건에서 1500도에서 증발할 수 있으며 이때 크롬은 녹지 않고 증발합니다. 크롬의 강한 접착력으로 인해 이 소재는 접착력이 약한 금속 재료에 대한 "접착제" 역할을 합니다.

또한 유리나 세라믹에 대한 크롬의 기본 접착력은 다른 일반적인 금속 증발 재료(티타늄 제외)보다 우수하며 크롬의 접착력은 티타늄과 유사합니다. 크롬 필름-유리 계면에 대한 파괴 테스트를 수행하면 크롬 필름의 강한 접착력으로 인해 기판이 파괴되는 경우가 많습니다.

크롬의 모양은 대부분 플레이크 또는 입상이며 증발 보트 또는 바구니 증발기에 의해 증발될 수 있습니다. 증발원의 열선은 대부분 텅스텐이므로 미리 텅스텐 스파이럴 와이어에 크롬을 전기도금하는 방법도 있다. 이 방법은 열 접촉을 개선하고 증발 영역을 확장할 수 있지만 텅스텐 와이어는 전기 도금 전에 완전히 가스를 제거해야 합니다. 최근 몇 년 동안 스퍼터 코팅에서 크롬 필름을 준비하기 위해 크롬 타겟을 사용하는 분말 야금 방법이 개발되었습니다.

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