진공 코팅기 중공 음극 기술

진공 코팅기 중공 음극 기술

이온 코팅 장비는 1960년대 DM Mattox가 제안한 이론에서 비롯되었으며, 이에 상응하는 실험이 이때 시작되었습니다. 1971년까지, Chamber et al. 출판된 전자 빔 이온 코팅 기술; 반응성 증발(ARE) 기술은 1972년에 개발되었습니다. 2009년 Bunshah 보고서는 TiC 및 TiN과 같은 초경질 필름 유형이 이 시기에 생산되었다고 지적했습니다. 또한 1972년에 Smith와 Moley는 코팅 공정에서 중공 음극 기술을 사용했습니다. 1980년대에 이르러 우리나라의 이온 도금은 마침내 산업적 응용 수준에 도달했고 진공 다중 아크 이온 도금 및 아크 방전 이온 도금과 같은 코팅 공정이 속속 등장했습니다.

진공 코팅기는 증발과 스퍼터링의 두 가지 유형으로 나뉩니다.

이온 코팅기는 주로 진공 증발 코팅기, 진공 다중 아크 이온 코팅기, 진공 중간 주파수 마그네트론 스퍼터링 코팅기, 다기능 중간체를 포함한 많은 유형을 포함하여 고진공에서 수행해야하는 코팅 유형을 나타냅니다. 주파수 마그네트론 스퍼터링 다중 아크 복합 이온 코팅기, 진공 광학 (전자빔 증발) 코팅기 및 기타 진공 코팅 장비 시리즈는 주요 아이디어는 증발 및 스퍼터링의 두 가지 유형으로 나뉩니다.

진공 코팅기의 고르지 않은 펌핑은 코팅 균일성에 영향을 미칩니다.

코팅 기계의 고르지 않은 펌핑은 코팅 균일성에 영향을 미칩니다. 기판이 깨끗한 것이 중요합니다. 진공 코팅 전에 기판 표면을 조심스럽게 청소하여 작업물의 탈지, 오염 제거 및 탈수를 달성해야 합니다. 기판 표면 오염은 가공 및 운송 중에 부품에 부착된 각종 먼지, 그리스, 연마 페이스트, 땀 등으로 인해 발생합니다. 습한 환경에서는 기판 표면이 쉽게 산화되어 가스를 흡수하는 산화막을 형성합니다. 이러한 얼룩은 탈지 또는 화학적 방법으로 청소할 수 있습니다. 깨끗한 기판은 외부에 바로 두지 말고 오염을 줄이기 위해 밀폐된 용기에 보관해야 합니다. 코팅 챔버에 먼지가 쌓이기 때문에 코팅 챔버를 청소하고 굽고 가스를 제거하고 기계를 깨끗한 환경에 두십시오. 확산 펌프의 오일 회수에 주의하십시오. 수지, 실리콘, 규산, 폴리머 등과 같은 많은 코팅 원료가 있습니다. 보조 재료의 비율과 공식이 다르며 필름도 다릅니다.

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