진공 코팅기의 사용 단계

진공 코팅기의 사용 단계

1. 워터 펌프와 공기 공급원을 켭니다.

2. 주 전원을 켭니다.

3. 유지 펌프와 진공 게이지의 전원 공급 장치를 켜고 진공 게이지의 위치는 V1이며 값이 10 미만이 될 때까지 기다린 후 다음 단계로 이동합니다. 5분 정도 걸립니다.

4. 기계식 펌프를 켜고, 예비 펌프를 켜고, 터보 분자 펌프의 전원을 켜고 시작합니다. 진공 게이지의 스위치를 V2 위치로 변경하면 펌프가 2 미만이 될 때까지 약 20분 정도 소요됩니다.

5. 터보분자 펌프의 수치가 250에 도달하면 사전 펌핑을 끄고 포어 펌프와 고진공 밸브를 열고 진공을 계속합니다. 배기가 일정 수준에 도달하면 오른쪽의 고진공 게이지를 열어 진공도를 관찰할 수 있습니다. 전자총은 진공이 2×10-3에 도달할 때까지 전원을 켤 수 없습니다.

코팅해야 하는 것을 기판이라고 하고 코팅할 재료를 타겟이라고 합니다. 기판과 타겟은 동일한 진공 챔버에 있습니다.

증발 코팅은 일반적으로 대상을 가열하여 표면 구성 요소를 라디칼 또는 이온 형태로 증발시킵니다. 그리고 기판의 표면에 증착하여 성막공정(산란도형구조-미주구조-층상성장)을 통해 박막을 형성한다. 스퍼터링 코팅의 경우 간단히 전자 또는 고에너지 레이저로 타겟에 충격을 가하고 표면 구성 요소를 원자단 또는 이온 형태로 스퍼터링하고 마지막으로 필름을 통과하여 기판 표면에 증착하는 것으로 이해할 수 있습니다. 공정을 형성하고 마지막으로 박막을 형성합니다.

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