200년의 진공 코팅기 기술 및 장비 개발 역사

200년의 진공 코팅기 기술 및 장비 개발 역사

무전해 코팅은 광학 부품 표면에 보호막을 형성하기 위해 처음 사용되었습니다. 그 후 1817년 프라운호프는 독일에서 진한 황산이나 질산으로 유리를 공격했고 우연히 처음으로 반사 방지 필름을 얻었습니다. 1835년 이전에 누군가 화학적 습식 선택 방법으로 은경막을 증착했습니다. 세계 최초의 광학 안경입니다. 영화. 나중에 다양한 광학 필름이 화학 용액과 증기로 도금되었습니다. 1950년대에는 대형 창문용 무반사 코팅의 일부 적용을 제외하고 약액 코팅이 점차 진공 코팅으로 대체되었습니다.

두 가지 진공 물리적 코팅 공정인 진공 증착 및 스퍼터링은 지금까지 산업 현장에서 광학 박막을 제조하는 가장 중요한 두 가지 공정입니다. 실제로 1930년에 오일 확산 펌프가 등장한 후 기계식 펌핑 시스템이 대규모로 적용되었습니다.

1935년에 누군가가 진공 증착에 의해 증착된 단층 반사 방지 필름을 개발했습니다. 그러나 1945년 이후 안경 렌즈에 처음 적용되었습니다.

1938년 미국과 유럽에서는 이중 반사 방지 코팅을 개발했지만 1949년이 되어서야 고품질 제품이 생산되었습니다.

1965년에 광대역 3층 무반사 시스템이 개발되었습니다. 반사 필름의 경우 미국의 General Electric Company가 1937년에 최초의 알루미늄 코팅 램프를 생산했습니다. 독일은 같은 해에 의료용으로 처음으로 마모 방지 경질 로듐 필름을 만들었습니다. 필터 측면에서 독일은 1939년에 금속 유전체 필름 Fabry-Perot 유형 간섭 필터를 증착하는 실험을 했습니다.

1858년경 스퍼터링 코팅 분야에서 영국과 독일의 연구원들이 실험실에서 연속적으로 스퍼터링을 발견했습니다. 이 기술은 느린 개발 과정을 거쳤습니다.

1955년 Wehner가 고주파 스퍼터링 기술을 제안한 후 스퍼터링 코팅은 급속도로 발전하여 중요한 광학 박막 공정이 되었습니다. 양극성 스퍼터링, 삼극성 스퍼터링, 반응성 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링 및 이중 이온 스퍼터링과 같은 증착 프로세스를 사용할 수 있습니다.

1950년대 이후 광학 박막은 주로 코팅 공정과 컴퓨터 지원 설계라는 두 가지 측면에서 빠르게 발전했습니다. 코팅 면에서는 일련의 이온 기반 신기술을 연구하여 적용하였다.

1953년 독일의 Auwarter는 반응증발법에 의한 광학필름 코팅에 대한 특허를 출원하였고, 이온화 ​​기체로 화학 반응성을 높이는 제안을 하였다.

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