진공 코팅기는 부품 표면에서만 반응이 일어나는 것이 아니라

진공 코팅기는 부품 표면에서만 반응이 일어나는 것이 아니라

절연체의 마그네트론 반응성 스퍼터링은 쉬워 보이지만 실제 작동은 어렵습니다. 주요 문제는 반응이 부품 표면뿐만 아니라 양극, 진공 챔버 표면 및 대상 소스 표면에서도 발생한다는 것입니다. 그로 인해 소화, 대상 소스 및 공작물 표면 아크 등이 발생합니다. 독일의 Leybold가 발명한 트윈 타겟 소스 기술은 이 문제를 아주 잘 해결합니다. 원리는 한 쌍의 대상 소스가 서로의 음극과 양극이 되어 양극 표면의 산화 또는 질화를 제거하는 것입니다. 대부분의 에너지가 열로 변환되기 때문에 모든 소스(마그네트론, 다중 아크, 이온)에 대해 냉각이 필요합니다. 냉각이 없거나 불충분한 경우 이 열은 대상 소스 온도를 1,000도 이상으로 만들고 대상 소스 전체를 녹입니다. .

마그네트론 반응성 스퍼터링을 발명한 진공 코터

마그네트론 타겟 소스로 금속 및 합금을 스퍼터링하기 쉽고 점화 및 스퍼터링이 편리합니다. 타겟(캐소드), 플라즈마, 스퍼터링된 부분의 진공 챔버가 회로를 형성할 수 있기 때문입니다. 그러나 세라믹과 같은 절연체를 스퍼터링하면 회로가 끊어집니다. 그래서 사람들은 고주파 전원 공급 장치를 사용하고 루프에 강력한 커패시터를 추가합니다. 이와 같이 절연 회로에서 대상 물질은 축전기가 됩니다.

그러나 고주파 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 고가이고 스퍼터링 속도가 매우 작고 접지 기술이 매우 복잡하여 대규모로 사용하기 어렵습니다. 이 문제를 해결하기 위해 마그네트론 반응성 스퍼터링이 발명되었습니다. 즉, 금속 타겟을 사용하여 아르곤과 질소 또는 산소와 같은 반응성 가스를 첨가합니다. 금속 타겟이 부품에 부딪히면 반응성 가스와 결합하여 에너지 변환으로 인해 질화물 또는 산화물을 형성합니다.

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