진공 은 스퍼터링으로 제조된 TiCN 박막의 구조 및 특성
메시지를 남겨주세요
진공 은 스퍼터링으로 제조된 TiCN 박막의 구조 및 특성
TiCN 박막은 질소와 아르곤의 혼합 분위기 하에서 흑연 타겟과 티타늄 타겟을 공동 스퍼터링하여 M2 고속 강철 기판 위에 제조되었습니다. TiCN 박막의 경도를 검출하였고, 압입법과 스크래치법을 이용하여 박막과 기판의 결합상태를 평가하였다. TiCN 박막의 내구성을 조사하기 위해 TiCN 박막 탭의 절단 시험을 실시하였다. 결과는 TiCN 막의 C 원자가 TiN 격자에 고용체 형태로 존재하고, (111) 결정면에서 TiCN 막의 배향이 TiN 막의 배향보다 현저히 약하며, TiCN 필름은 긴 블록 구조이며 측면 치수가 TiN 필름보다 큽니다. 필름이 작고 TiCN 필름의 표면이 고르지 않습니다. TiCN 필름과 기판 사이의 결합력은 약 40N입니다. TiCN 필름의 C 원자는 고용 강화 및 결정립 미세화 강화 효과를 갖습니다. TiCN 필름의 경도는 TiN 필름의 20.3GPa에서 33.4GPa로 증가되었습니다. TiCN 필름은 마찰 방지 특성이 우수하며, 40Cr 소재를 태핑할 때 TiCN 필름 탭의 수명은 TiN 필름 탭 및 코팅되지 않은 탭보다 훨씬 더 깁니다.
진공 은도금 고체 C 소스에 의한 TiCN 박막 제조
현재 대부분의 PVD 방법은 TiCN 박막을 제조하기 위해 CH4 또는 C2H2를 C 소스로 사용합니다. 준비 과정에서 가스 유량 비율을 조정하면 원소 함량 비율과 특성이 다른 TiCN 박막을 얻을 수 있습니다. 그러나 이 방법의 문제점은 과잉된 탄소원가스가 코팅기 노체 내부 구조에 심각한 오염을 일으키고, 다음 코팅 공정에서 노벽에 남아있는 탄소 느슨층이 방출되어 코팅기 노체 내부 구조가 심각하게 오염된다는 점이다. 필름의 증착 분위기를 방해합니다. 연속 생산은 바람직하지 않으며 산업 생산에서 박막 공작물의 성능이 불안정해지는 경우가 많습니다.
www.superbheater.com
