진공 도금 전기 가열 튜브를 위한 반응성 스퍼터링은 화합물 필름을 증착하는 데 널리 사용됩니다.

진공 도금 전기 가열 튜브를 위한 반응성 스퍼터링은 화합물 필름을 증착하는 데 널리 사용됩니다.

 

현대 표면 공학의 발전은 다양한 복합 필름의 사용을 점점 더 요구하고 있으며 반응성 마그네트론 스퍼터링 기술은 복합 필름을 증착하는 주요 방법 중 하나입니다. 여러 성분으로 구성된 복합막을 증착하기 위해 복합재료로 만들어진 타겟 물질을 스퍼터링 증착에 사용할 수 있으며, 순수 금속 또는 합금 타겟을 스퍼터링할 때 산소 및 질소와 같은 특정 반응성 가스를 도입하여 반응하여 화합물을 증착할 수 있습니다. 영화. 이를 반응성 스퍼터링이라고 합니다. 일반적으로 순수한 금속 타겟과 반응성 가스는 고순도를 얻기 쉽기 때문에 반응성 스퍼터링은 화합물 필름을 증착하는 데 널리 사용됩니다.

진공 전기 도금 전기 가열 튜브 이온 코팅의 장점

 

이점

 

높은 증착 속도

 

조밀한 필름

 

좋은 회절성, 복잡한 표면을 커버하는 강력한 능력

 

진공 전기 도금 전기 가열 튜브에 대한 반응성 스퍼터링의 장단점

 

(1) 반응 마그네트론 스퍼터링에 사용되는 타겟 재료(단원소 타겟 또는 다원소 타겟)와 반응성 가스(산소, 질소, 탄화수소 등)는 순도가 높기 때문에 고순도의 타겟을 준비하는 데 도움이 됩니다. 복합 필름.

 

(2) 반응성 마그네트론 스퍼터링에서 공정 변수를 조정함으로써 화학량론적 또는 비화학량론적 화합물 필름을 제조할 수 있으며 필름의 조성을 조정하여 필름 특성을 조절할 수 있습니다.

 

(3) 반응성 마그네트론 스퍼터링 증착 공정에서 기판의 온도는 상대적으로 낮고 일반적으로 성막 공정에서 기판을 고온으로 가열할 필요가 없으므로 기판 재료에 대한 제한이 적습니다.

 

(4) 반응성 마그네트론 스퍼터링은 대 면적 균일 박막의 제조에 적합하며 단일 기계 연간 생산량 수백만 제곱미터 코팅의 산업화 생산을 실현할 수 있습니다.

 

결점

 

표적 중독, 양극 소실 및 기타 문제가 발생하기 쉽습니다.

www.superbheater.com