전기 가열 튜브 전기 도금의 급속 에칭

전기 가열 튜브 전기 도금의 급속 에칭

1) 재료 절단. 유전체층을 1.5mm, 동박δ 17.5μ로 설정 m의 FR-4 양면 동박판을 544mm×412mm 규격으로 자른다.

2) 구멍을 뚫습니다. 드릴링 머신 매개변수의 두 가지 다른 세트를 설정하여 구멍 직경 200μ m의 관통 구멍을 뚫습니다. 여기서 그룹 A 매개변수는 드릴 속도 110kr/min, 다운 속도 1.6m/min, 역방향 속도 20m/min입니다. 그룹 B의 파라미터는 천공 속도 145kr/min, 하향 속도 1.8m/min, 후퇴 속도 20m/min입니다. 드릴링 효과가 더 좋은 매개변수가 후속 드릴링 매개변수로 선택됩니다.

3) 구리를 줄입니다. H2SO4-H2O2 에칭 용액을 사용하여 표면 구리의 두께를 줄이고 δ를 4μm로 줄입니다.

4) 무전해 동도금. 과망간산칼륨 세정, 마이크로에칭, 활성화 등의 처리 후 50분간 화학적 동도금을 실시한다.

5) 그래픽 전송. 화학적 동도금 후 건식 및 열간 프레스 40 μ m 두께의 건조 필름을 LDI 시스템을 사용하여 15분간 방치한 후 노광 에너지 450J/m2로 노광한다. 15분 동안 배치한 후 현상하여 필요한 회로와 관통 구멍을 모두 노출하고 나머지 부분은 완전히 덮습니다.

6) 홀 및 와이어의 구리 도금. Control 70g/L 황산동, 190g/L 황산, 60mg/LCl -, 적당량의 광택제 및 레벨링제, J κ 1.5A/dm2로 80분 동안 그래픽 전기도금을 수행한다.

7) 급속 에칭. Film Removal Line을 통해 기판 표면에 남아있는 Dry Film을 제거하고 H2SO4-H2O2 식각액으로 Rapid Differential Etching을 수행하여 기판 표면의 잉여 동박을 제거하여 Through Hole 및 미세회로 제작을 완료합니다.

2.3 테스트

그래픽 전송 후 라인과 구멍의 정렬 정확도를 확인하고 라인이 아닌 부분에 대한 드라이 필름과 구리 클래드 플레이트의 조합 효과를 확인합니다. 패턴 전기 도금 후 관통 구멍의 깊은 도금 능력을 테스트하고 금속 현미경을 사용하여 미세 회로 및 관통 구멍의 생산 효과를 관찰하십시오. 급속 에칭 후 3M 테이프를 사용하여 회로 섹션에서 3번의 박리 강도 테스트를 수행하여 전기 도금 후 회로와 기판 사이의 결합 효과를 감지합니다.

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