진공 코팅기의 모듈식 설계, 손쉬운 유지 보수

진공 코팅기의 모듈식 설계, 손쉬운 유지 보수

1. 수평 및 수직 구조가 있어 한 면에 동시 코팅을 실현할 수 있습니다.

2. 생산 효율성, 가장 빠른 속도는 1분/비트입니다.

3. 모듈 디자인, 쉬운 유지 보수;

4. 코팅 공정이 성숙하고 수율이 높습니다.

5. DC 마그네트론 스퍼터링 음극은 고객 요구 사항에 따라 선택할 수 있습니다.

6. 진공 시스템은 기계식 펌프, 루츠 펌프 및 확산 펌프로 구성됩니다.

진공 코팅기는 장비의 냉각수 공급이 방해받지 않도록 합니다.

확산 펌프와 오일 부스터 펌프를 가열하기 전에 냉각수를 연결하고 유지 보수 펌프를 켜야 합니다. 확산 펌프 및 부스터 펌프가 작동을 멈추고 펌프를 30 분 동안 유지 한 후 차단하고 1 시간 후에 물을 차단하지만 펌프 내부가 80도 이하로 냉각되지 않으면 냉각수를 차단하지 마십시오. 펌프 코어가 타는 것을 방지하십시오.

확산 펌프와 부스터 펌프에는 각각 백업 물 배출구가 있습니다. 코팅 기계가 고장나거나 정전이 된 경우 백업 콘센트를 열어 확산 펌프와 부스터 펌프를 냉각시켜야 합니다. 재료가 탔습니다. 확산 펌프 및 오일 부스터 펌프가 가열될 때 펌프 오일의 산화를 방지하기 위해 대기와 접촉하지 마십시오. 수류 릴레이를 정기적으로 점검 및 조정하고 단수 경보가 정상인지 확인하고 장비의 냉각수 공급이 원활한지 확인하십시오. 코팅기의 각 기계를 분해 조립하기 전에 부품을 설치할 때 코팅기의 안정적인 밀봉 성능을 보장하기 위해 밀봉 표면에 기계적 긁힘이나 손상이 없도록 주의해야 합니다.

진공 코팅기는 2단 펌프 또는 다단 펌프를 사용할 수 있습니다.

진공 코팅 장비는 진공도 및 작동 압력 강도의 한계에 대한 요구 사항이 점점 더 많아지고 진공 펌프의 진공 펌핑 용량에 대한 요구 사항이 높을수록 적어도 펌프의 최종 진공도는 작동 진공보다 높습니다. 진공 장비의 정도. 크기의 절반 이상. 각 펌프에는 특정 작동 압력 범위가 있습니다. 예를 들어, 확산 펌프의 압력은 3~10-7mmHg이고 안정적인 작동 압력 범위는 5*10-4~5*10-6mmHg입니다. 지정되지 않은 작동 압력 범위 밖에서 작업하십시오. 펌프에 필요한 가스 압력이 높지 않거나 필요한 진공도가 높지 않은 경우 먼저 단일 단계 펌프를 선택할 수 있습니다. 배기 압력 또는 진공도에 대한 요구 사항은 상대적으로 높으며 단일 단계 펌프는 종종 요구 사항을 충족하지 못합니다. , 2단 펌프 또는 다단 펌프를 사용하도록 선택할 수 있습니다.

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