진공 코터의 마그네트론 스퍼터링 조정 매개변수

진공 코터의 마그네트론 스퍼터링 조정 매개변수

마그네트론 스퍼터링 코팅 장비의 폭넓은 적용은 기술의 특성에 의해 결정되며, 이는 다음과 같이 요약할 수 있습니다. 타겟으로 제조될 수 있는 다양한 재료는 박막 재료로 사용될 수 있으며, 다양한 금속, 반도체, 강자성 재료 재료, 절연 산화물, 세라믹, 폴리머 등

또한 마그네트론 스퍼터링 조정 매개변수는 필름 성능을 조정할 수 있으며 특히 대면적 코팅에 적합하며 증착 영역이 더 균일합니다.

진공 코터 마그네트론 스퍼터링 플라즈마 임피던스가 낮습니다.

마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 다양한 기능을 가진 다양한 박막, 박막을 준비할 수 있으며 혼합 성분으로 혼합물 및 복합 박막을 증착할 수도 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 플라즈마 임피던스는 낮기 때문에 약 500V의 전압에서 높은 방전 전류가 발생합니다. 방전 전류는 1A에서 100A까지 가능합니다(음극의 길이에 따라 다름). 필름 형성 속도가 높고 증착 속도가 1nm/s에서 10nm/s로 변경될 수 있습니다. 필름 형성의 일관성은 수 미터 길이의 음극에서도 양호합니다. 스퍼터링의 경우 필름 층의 일관성이 여전히 보장될 수 있습니다. 기질의 온도 상승이 낮다; 스퍼터링된 입자의 에너지는 약 수십 전자볼트이고 필름 형성은 상대적으로 조밀하며 필름 베이스는 잘 접착되어 있습니다.

진공 코팅기 장비의 가열 온도가 너무 높습니다.

확산펌프히터의 출력이 정격 출력과 맞지 않아 너무 높아서 증기량이 많아 오일 리턴 현상이 발생할 수 있으며, 전기로 전선 교체로 해결할 수 있다.

진공 코팅기의 냉각수 채널이 부드럽지 않거나 수압이 충분하지 않습니다.

그 결과 냉각능력이 저하되고 확산펌프 상부가 뜨거워지며 유증기가 잘 액화되지 못한다. 해결책은 확산 펌프의 입구 파이프를 4mpa의 공기 공급원과 연결하여 스케일을 불어내고 출구 파이프도 4mpa로 불어내는 것입니다. 스케일이 매우 두껍고 단단하면 묽은 염산을 주입할 수 있습니다. 또는 확산 펌프를 교체하십시오.

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