진공 코팅기에서 전류의 국부 집중

진공 코팅기에서 전류의 국부 집중

높은 전자 밀도 지점의 방출된 부분은 높은 밀도 전류를 생성하고, 높은 밀도 전류는 주울 열을 생성하고 지점의 온도를 계속 상승시켜 핫 전자를 방출할 수 있습니다. 이 현상은 국부적인 전류 집중을 초래합니다.

국부적인 전류 집중에 의해 발생하는 줄 열은 양극재로부터 대량의 이온 및 전자 방출을 유도하여 용융된 양극재 입자를 방출하고 방전 흔적을 남길 수 있습니다.

많은 수의 방출된 이온 중 일부 이온은 음극재 표면으로 다시 빨려 들어가 공간 전하층과 강한 전기장을 재생하고 일함수가 작은 새로 생성된 지점에서 다시 전자 방출을 시작합니다. .

전자는 진공 코터의 입계에서 방출됩니다.

금속 이온은 음극 표면에 끌리고 공간 전하층을 생성할 수 있습니다. 이 시간 동안 촉발된 강한 전기장은 음극 표면의 작은 일함수를 가진 미세 균열 또는 입계에서 전자가 방출되도록 합니다.

진공 코팅기의 진공 내벽 및 타겟 소스 양극

많은 충돌 후에 전자의 에너지는 점차 감소하고 자기장 라인의 족쇄를 제거하고 마침내 기판, 진공 챔버의 내벽 및 대상 소스의 양극에 떨어집니다. 고전압 전기장의 가속 하에서 Ar 플러스 이온이 타겟과 충돌하여 에너지를 방출하여 타겟 표면의 원자가 Ar 플러스 이온의 운동 에너지를 흡수하여 원래 격자에서 이탈하게 하고, 중립 표적 원자는 표적 표면에서 탈출합니다. 기판으로 날아가서 기판에 박막을 증착합니다.

www.superbheater.com