전기 가열 튜브의 레이저 강화 전기 도금

전기 가열 튜브의 레이저 강화 전기 도금

레이저 강화 전기도금은 고밀도 레이저 빔을 사용하여 액체/고체 계면을 조사하여 국부적인 온도 상승 및 미세 교반을 일으켜 조사 영역에서 화학 반응을 유도하거나 강화하여 액체 물질의 분해를 일으키고 반응 생성물을 고체에 침전시킵니다. 표면. 1978년 미국의 IBM사는 1.5W 수소이온 레이저 또는 수소이온 레이저를 이용해 텅스텐 음극에 집중된 레이저빔을 조사하는 레이저 전기도금을 처음 연구했다. 레이저 빔을 사용하지 않은 경우에 비해 니켈의 증착 속도가 600-1000배 증가했습니다.

1980년 독일 귀금속 연구소는 금, 팔라듐, 구리, 은 및 니켈의 레이저 전착을 성공적으로 적용했습니다. 그러나 매우 얇은 전극 기판, 높은 열전도율 및 높은 에너지 밀도를 달성하기 위해 강력한 광선 사용이 필요합니다.

1981년 Puippe와 Von Gutfeld et al. 여기 강화 전기 도금(LEP)의 원리를 연구했으며 전극 정전위 및 전하 전송 속도의 변화가 가속 증착 속도의 주요 원인이라고 믿었습니다.

1983년 Gelcincki et al. 금 도금을 위한 "레이저 어블레이션 기술"에 대해 보고했습니다. 공작물은 유기 코팅으로 미리 코팅되었으며, 레이저 조사 후 조사된 영역의 코팅이 제거되어 기판이 노출되어 금이 증착되었습니다. 이 기술을 사용하여 얻은 코팅은 품질은 좋지만 국부 연소 및 용액 오염과 같은 기술적 결함이 있습니다.

1984년 미국의 Sandia Laboratories는 집적 회로를 제조하기 위해 "플라즈마 레이저 증착"이라는 공정을 사용할 것을 제안했습니다. 이 방법은 테트라하이드로실리콘 가스를 낮은 압력에서 반응 챔버에 들어가게 하고, 레이저 작용 하에서 플라즈마를 생성하고 기판에 증착하는 것입니다.

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