진공 코팅기의 필름 두께를 측정하는 방법은 무엇입니까?

진공 코팅기의 필름 두께를 측정하는 방법은 무엇입니까?

진공 코팅기를 사용하여 필름을 코팅한 후 필름 층의 두께를 측정해야 할 수 있습니다. 필름층의 두께를 측정하는 데 사용되는 방법은 무엇입니까?

가장 직접적인 코팅 제어 방법은 Quartz Crystal Micro-Balance Method(QCM)입니다. 이 장비는 증발 소스를 직접 구동하고 증발 속도를 유지하기 위해 PID 제어를 통해 배플을 구동할 수 있습니다.

기기가 시스템 제어 소프트웨어에 연결되어 있는 한 전체 코팅 프로세스를 제어할 수 있습니다. 그러나 (QCM)의 정확도는 부분적으로 광학적 두께가 아닌 증착되는 코팅의 품질을 모니터링하기 때문에 제한됩니다.

또한 QCM은 낮은 온도에서 매우 안정적이지만 높은 온도에서는 온도에 매우 민감합니다. 장시간 가열하는 동안 센서가 이 민감한 영역으로 떨어지는 것을 방지하기 어렵고 필름에 심각한 오류가 발생합니다.

광학 모니터링은 레이어 두께를 보다 정밀하게 제어할 수 있기 때문에(적절하게 사용되는 경우) 고정밀 코팅을 모니터링하는 데 선호되는 방법입니다.

정확도의 향상은 많은 요인에 기인하지만 가장 근본적인 것은 광학적 두께의 모니터링입니다.

확산 펌프를 6개월 이상 지속적으로 사용하면 펌핑 속도가 현저히 느려지거나 작동이 부적절합니다. 공기를 대기로 채우고 연결 수도관을 제거하고 전기 스토브를 제거하고 1단 노즐을 푸십시오. 쓸개를 한번 씻은 다음, 세제를 물에 섞어서 씻은 다음 물로 깨끗이 씻는다. 물이 증발하고 건조되면 펌프 담낭을 설치하고 새 확산 펌프 오일을 추가하고 다시 본체에 넣고 수도관을 연결하고 전기로를 설치하십시오. 디스크, 재부팅할 수 있습니다. 다시 시작하기 전에 누출 감지에 주의하십시오. 방법은 다음과 같습니다: 유지보수 펌프를 시작하고 도어를 닫고 몇 분 후 확산 펌프의 진공도가 6X10 Pa에 도달하는지 관찰하십시오. 그렇지 않으면 누출 감지를 수행해야 합니다.

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