고온소둔로 온도계의 온도교정기술 설명

고온 어닐링로는 온도를 정확하게 제어하기 위해 가속 디지털 PLD 온도 컨트롤러, 열전대, 고온계 및 열원으로 구성된 폐쇄 루프 제어 시스템을 채택한 것으로 보고되었습니다. 서로 다른 영역에서 할로겐 램프를 공동으로 제어하면 온도 제어 프로세스 중에 각 영역의 온도 차이가 보상되어 기판의 서로 다른 영역의 온도가 변하지 않게 유지됩니다. 고온계는 캐비티 바닥에 설치되어 있기 때문에 기판 뒷면에서만 방사선을 받을 수 있고 램프에서는 방사선을 받을 수 없습니다. 따라서 고온계는 기판의 온도를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 고온계의 온도 교정 원리는 다음과 같습니다.
1. 고온계 소개:
이 글에서 소개하는 고온계는 열복사 광학 고온계입니다. 고온계가 측정 대상으로부터 적외선을 수신하면 광학 신호가 필터링되고 광전 변환되고 증폭되어 아날로그 신호가 된 다음 센서의 신호 인터페이스 회로 모듈로 전송됩니다. 이 모듈은 신호에 대해 A/D 변환을 수행하여 컴퓨터에서 인식할 수 있는 디지털 신호로 변환합니다. 컴퓨터에 피드백되는 디지털 신호는 다음 텍스트에서 고온계 피드백 값이라고 합니다.
2. 온도 교정 테이블:
관련법에 따르면 물체의 온도는 물체의 방사선 및 분광 방사율과 관련이 있습니다. 고온 어닐링로의 경우 고온계가 받는 방사선의 양은 주로 기판 재료, 도핑, 표면의 자연 산화물 층 및 기판 온도와 같은 요인에 따라 달라집니다. 동일한 유형의 기판(즉, 동일한 재료, 도핑 및 표면 자연 산화물 층을 가진 기판)의 경우 고온계가 수신하는 방사선의 양은 기판 온도와 관련이 있습니다. 따라서 동일한 유형의 기판에 대해 고온계의 피드백 값은 기판 온도와 일대일로 일치합니다. 이러한 대응은 온도 교정 데이터를 구성하며 온도 교정 테이블은 여러 기판 온도와 고온계의 피드백 값 간의 관계 데이터를 저장하는 데 사용됩니다. 다양한 온도는 고온계의 다양한 피드백 값에 해당합니다. 고온 어닐링로 컴퓨터는 고온계와 온도 교정 테이블의 신호 값 피드백을 기반으로 기판의 실제 온도를 계산할 수 있습니다.