Czochralski 단결정로 장비:

단결정로 본체:

로 본체는 다결정 실리콘이 녹아 단결정 실리콘이 성장하는 곳으로 그 안에 가열 시스템이 들어있습니다.

Czochralski 단결정로 장비:

로 본체, 진공 시스템, 가스 시스템, 열장 시스템, 전기 제어 시스템, 변속기 제어 시스템

Czochralski 단결정 로의 원리:

단결정 실리콘은 용융된 실리콘에서 종자결정을 회전시켜 끌어당겨 제조됩니다.

단결정로 실리콘 단결정 성장 방법:

실리콘 단결정 성장 방법에는 CZ법(Czochralski법)과 FZ법(zonemelting법)이 있습니다.

고순도 단결정 실리콘은 중요한 반도체 소재입니다.

단결정 실리콘에 소량의 IIIA족 원소를 도핑하여 p형 실리콘 반도체를 형성합니다. 소량의 VA족 원소를 도핑하여 n형과 p형 반도체가 결합된 형태를 이루고, 이를 태양광 칩으로 만들어 복사 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있습니다. 에너지 발전에 유망한 소재입니다. 폴리실리콘은 다이아몬드 격자를 갖고 있고 결정은 단단하고 부서지기 쉬우며 금속광택을 갖고 전기를 전도할 수 있지만 금속에 비해 전도성이 낮고 온도가 증가함에 따라 증가하며 반도체 특성을 갖고 있다. 결정질 실리콘의 녹는점은 1410도, 끓는점은 2355도입니다. 조밀한 비정질 실리콘은 흑회색 분말입니다.

단결정 실리콘과 다결정 실리콘의 물리적 특성

결정질 실리콘은 원소 실리콘의 한 형태입니다. 용융된 원소 실리콘이 과냉각 조건에서 응고되면 실리콘 원자는 다이아몬드 격자 형태로 많은 결정핵으로 배열됩니다. 이들 결정핵이 서로 다른 결정면 방향을 갖는 결정립으로 성장하면 이들 결정립이 결합하여 폴리실리콘으로 결정화된다. 다결정 실리콘은 단결정 실리콘을 끌어당기는 원료로 사용될 수 있습니다. 다결정 실리콘과 단결정 실리콘의 차이는 주로 물리적 특성에서 나타납니다. 예를 들어, 기계적 특성, 광학적 특성 및 열적 특성 측면에서 이방성은 단결정 실리콘보다 훨씬 덜 분명합니다. 전기적 특성 측면에서 다결정 실리콘 결정의 전도성은 단결정 실리콘의 전도성보다 훨씬 덜 중요하거나 전도성이 거의 없습니다. 화학적 활성 측면에서 둘 사이의 차이는 극히 작습니다. 다결정 실리콘과 단결정 실리콘은 외관상으로 구분이 가능하지만, 실제 식별은 결정면 방향, 도전형, 결정의 저항률 등을 분석하여 판단해야 합니다.

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